X射線(xiàn)的透射率取決于材料的質(zhì)量和厚度。一般情況下,鋁、硅等材料的原子質(zhì)量較小,透射率高,較難分辨;金、銅、鐵、焊料(銀、鉛、鉍、錫)等的原子質(zhì)量較大,透射率低,比較易于分辨。同時(shí),X射線(xiàn)透過(guò)材料后的強度隨材料的吸收系數和厚度呈指數衰減。
X射線(xiàn)可以用于確定引線(xiàn)鍵合的狀態(tài)(布線(xiàn)狀態(tài),是否開(kāi)路、短路)、焊片狀態(tài)以及是否產(chǎn)生空洞。此外,聚焦的X射線(xiàn)(1微米-10微米)還能用于微區分析,作為CSP(芯片尺寸封裝)和TCP(載帶封裝)的強有力的失效分析手段。
計算機掃描層析技術(shù)可以提供傳統成像技術(shù)無(wú)法實(shí)現的二維切面或三維立體表現圖,且避免了影響重疊、混淆真實(shí)缺陷的現象,可以更準確地辨識物體內部的缺陷位置。
那么X-RAY檢測設備到底檢測效果如何呢?為何會(huì )成為電子元器件生產(chǎn)廠(chǎng)家必不可少的一種檢測設備?
IC芯片的檢測分為很多種,X-RAY檢測是其中非常重要的一種檢測,由于IC芯片比較精密主要由微型電子器件或部件構成。采用一定的工藝,把一個(gè)電路中所需的晶體管、二極管、電阻、電容和電感等元件及布線(xiàn)互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個(gè)管殼內,成為具有所需電路功能的微型結構;其中所有元件在結構上已組成一個(gè)整體,使電子元件向著(zhù)微小型化、低功耗和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。但越精密的電路,檢測難度就越復雜。
X-RAY檢測設備主要依靠?jì)炔縓光管發(fā)射X射線(xiàn)照射IC芯片成像,且X射線(xiàn)具備感光作用。X射線(xiàn)同可見(jiàn)光一樣能使膠片感光。膠片感光的強弱與X射線(xiàn)量成正比,當X射線(xiàn)通過(guò)IC芯片時(shí),因芯片各組織的密度不同,對X射線(xiàn)量的吸收不同,膠片上所獲得的感光度不同,從而獲得X射線(xiàn)的影像。
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